g線、i線フォトレジストについて化学的に説明
g線(436 nm)、i線(365nm)のフォトレジストは、ノボラック樹脂、感光材、添加剤、溶媒の混合物です。これら構成成分について化学的に説明します。 g線、i線フォトレジストとは? フォトレジストは半導体製造のリソグラフィーにおいてパタ
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